時間:2019-12-02 閲覧時間:429次
DISCO DFG860ウエハの薄型研磨設備、3皿の回転可能設計、精度、安定性、高効率。12寸ウエハの背部研磨に適用して薄くする。 製造年月日:2004年 定格:AC200V, 50/60 hz, 21KWV 圧縮空気:0.5Mpa 350L/mi 研削水:0.2Mpa 25L/min 冷却水:0.2Mpa 9L/min 重量:5000KG
設備名: 研磨機減薄機 メーカー: DISCO 型式: DFG860 年: 2004 デバイスの状態: Working