DFG8560

ウエハ技術の発展の流れに応じて、薄型、大口径ウエハ加工を実現する

既存研削機の精華を集める
dfg 8540/8560は、世界各地で多くのユーザーを抱えるDFG800シリーズの後継機種である。800シリーズと同等のテクニカル・マーカーと性能を持ちながらも,機器の重量に大きな改善が見られた機種である。DFG8540の重量は従来より1.2 t (DFG850より28%),DFG8560の重量は従来より1.0 t (DFG860より20%)減少した。
100μm以下の薄型ウエハを精密に研削できる
薄型ウエハ研削および搬送システムの機能パラメータ設計を改善し、薄型研削加工の安定性を向上した。
薄型研削精加工技術に対応したシステム拡張機能を備えている
DBG (Dicing Before Grinding =先にウエハを分割し,後に研削)やドライブラスター(df 8140/8160)などとオンラインシステムを構成できる。




加工点を統一的に研削し、加工の信頼性を高める
通が主軸の研削り加工点遇は1と2が主軸の研削り加工点の位置、統——は向上したが主軸の研2削りカレー工の安定、しかも小さくなった単晶の国内の厚さが誤差和晶丸い間の厚さ、誤差も薄型研削り加工品质の安定性を向上するのに役立つ。既存dfg800シリーズとの互換性の維持や部品互換性
dfg 8540/8560は既存機種との互換性を維持し,DFG800シリーズと同じ研削研削盤・研削盤・テーブルを使用できる。操作が簡便である
dfg 8540/8560は,タッチパッド液晶モニタおよびグラフィカルユーザインタフェースGUI (Graphical UserInterface)を搭載し,操作の利便性を高めている。また,機器の機械的状態と加工状況を制御画面に同期表示できるようにした。操作者は操作画面上のグラフィックボタンをタッチするだけで簡単に操作ができるようになり、作業速度が速くなるだけでなく、機器の操作や整備も容易になる。