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DGP8761

時間：2020-03-27 閲覧時間：351次

加工の安定性を高め、より高い生産効率を実現する
DGP8761は世界でも販売実績の高いDGP8760の改良モデルである。本機種は背面研磨から残留応力除去技術まで一体化しており,25μm以下の厚さの薄型化加工を安定して実現できる。新開発の主軸も配置され,高速研削加工に適している。薄型ウエハの加工時間の短縮に寄与する(DGP8760との比較)。また,搬送機構のレイアウトを合理的に配置し,加工以外の生産時間を短縮した。
第三主軸の多様な応用
薄ウエハ加工の第3主軸用途には以下のものがある。
残留応力の除去
●環境にやさしい、薬液・水を使わない「ドライ仕上げ」
●CMP(特殊オプション)
超精密研磨加工(特殊オプション)
●poligrind
●ultrapoligrind

前編:DAD3650

後篇:没有了

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