DFG8560

웨이퍼 기술의 발전 추세에 따라 초박형 대구경 웨이퍼 처리 실현
기존 그라인딩 머신의 본질 통합
DFG8540 / 8560은 전 세계 수많은 사용자가 사용하는 업그레이드 된 DFG800 시리즈 모델입니다. 이 모델은 800 시리즈와 동일한 기술 지표 및 성능을 제공 할뿐만 아니라 장비 무게를 크게 개선했습니다. DFG8540의 무게는 1.2t (DFG850보다 28 % 낮음) 감소하고 DFG8560의 무게는 1.0t (DFG860보다 20 % 낮음)입니다.
100μm 미만의 초박형 웨이퍼 정밀 연삭
초박형 웨이퍼 그라인딩 및 핸들링 시스템의 기능 매개 변수 설계를 개선하고 초박형 그라인딩 마무리의 안정성을 향상시킵니다.
초박형 연삭 및 정삭 기술에 해당하는 시스템 확장 기능
DBG (연마 전 다이 싱 = 웨이퍼 분할 후 연삭) 및 건식 폴리싱 머신 (DFP8140 / 8160) 및 기타 온라인 시스템과 결합 할 수 있습니다.

프로세싱 포인트를 균일하게 연마하여 프로세싱 신뢰성 향상
총회는 첫 번째 스핀들의 연삭 가공 지점과 두 번째 스핀들의 연삭 가공 지점을 통합하여 두 번째 스핀들의 연삭 작업의 안정성을 향상시킬뿐만 아니라 단결정의 두께 오차 및 웨이퍼를 줄입니다. 이들 사이의 두께 오차는 또한 초박형 연삭 가공 품질의 안정성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 기존 DFG800 시리즈와 호환성을 유지하고 부품 호환성
DFG8540 / 8560은 기존 모델과의 호환성을 유지하며 DFG800 시리즈 기계와 동일한 연삭 연삭 휠, 연삭 휠 트리밍 플레이트 및 작업 테이블을 사용할 수 있습니다. 작동하기 쉬운
DFG8540 / 8560에는 터치 식 액정 디스플레이와 그래픽 사용자 인터페이스 GUI (Graphical User Interface)가 장착되어있어 운영 수익성을 향상시킵니다. 또한 장비의 기계적 상태와 처리 상태를 제어 화면에 동시에 표시 할 수 있습니다. 운전자는 제어 화면의 그래픽 버튼을 터치하기 만하면 작동 속도가 빨라질뿐 아니라 장비의 작동 및 유지 관리가 매우 쉬워집니다.