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DISCO DFG860晶圆超薄研磨设备,3盘可旋转设计,精度高,稳定性好,效率高。适用于12寸晶圆背部研磨减薄。
生产日期:2004年
额定功率:AC200V,50/60HZ,21KWV
压缩空气:0.5Mpa 350L/mi
研削水: 0.2Mpa 25L/min
l冷却水: 0.2Mpa 9L/min
重量: 5000KG
设备名称: 研磨机 减薄机 厂家: DISCO 型号: DFG860 年份: 2004 设备状态: Working