时间:2019-12-05 浏览次数:2693次
设备名称: |
eFlow Series |
厂家: |
DIC GROUP |
型号: |
C Series |
年份: |
now |
设备状态: |
new |
eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。
特征
n由于结构简单,故障少
n采用独特的配管分配方式,易于控制电阻率值且稳定性优良
n二氧化碳供气模组的寿命长(保证期限为5年,本公司制)
主要用途
n掩模、网袋的清洗 n洗涤器清洗 n高压喷射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗
产品阵容
Cabinet Type(C Series)
C Series附带可装入2个CO2气瓶的机柜。电阻率传感器内置于机柜内,可通过eFLOW直接把水管连接使用场所。
型号一览表
处理流量(L/min) | 型号 | 模组 |
---|---|---|
1-16 | 1AC-P101 | PF-001L-NA 1个 1module |
5-30 | 2AC-P101 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
10-50 | 3AC-P101 | PF-001L-ND3 2个 2modules |