时间：2019-12-05 浏览次数：2380次
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设备名称: |
陶瓷吸盘 |
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厂家: |
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型号: |
圆型/方型 |
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年份: |
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设备状态: |
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多孔吸盘（吸附工作台）是指使用于半导体制造阶段，组装在Dicing saw（划片机）或检查装置上的部件。是能够利用工作台表面的多孔质构造与负压，使薄硅片等能够保持平面的产品。Dicing saw（划片机）以20μm左右的宽幅切割硅片，所以对于晶圆吸附面的平面度平行度要求非常高。
多孔吸盘的规格：
形状：圆形、方形、圆柱形、特殊形（可制作各种形状）
本体材质：不锈钢、钛合金、铝、陶瓷
多孔体材料：陶瓷、不锈钢、碳、PTFE
尺寸：圆型 （φ5㎜～φ500㎜）
方型（□5mm~□350mm）
本体表面处理：氟树脂加工、耐酸铝、防锈黑色膜LD处理、无电解镀铬
多孔体材料：3μm~580μm
