DGP8761

时间：2020-03-27 浏览次数：2026次

提高加工稳定性，实现更高产能效率
DGP8761是全球销售业绩突出的DGP8760的改良机型。本机型实现了背面研磨到去除残余应力技术的一体化，可以稳定地实现厚度在25μm以下的薄型化加工。还配置了新开发的主轴，适用于高速研削加工。有助于缩短薄型晶圆的加工时间（与DGP8760相比较）。另外，合理配置搬运机构的布局，缩短了加工以外的生产时间。
第三主轴的多样应用
用于薄晶圆加工的第3个主轴用途包括以下内容。
去除残余应力
●环保，不使用药液、水的「干式抛光加工」
●CMP（特殊选项）
超精密研磨加工（特殊选项）
●Poligrind
●UltraPoligrind

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