時間：2019-12-05 閲覧時間：286次
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設備名: |
eFlow Series |
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メーカー: |
DIC GROUP |
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型号: |
C Series |
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年: |
now |
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デバイスの状態: |
new |
FLOW Seriesは,DICが独自開発した「中空糸通気膜」を用いて二酸化炭素を補充することにより,超純水抵抗率値を制御する装置である。静電による「ほこりの再付着」や基板パターンの「静電破壊」を防ぐ効果が得られる。
特徴
nは構造が簡単なため故障が少ない
nは独自の配管割当て方式を採用しており,抵抗率値の制御が容易で安定性に優れている
n二酸化炭素ガス供給モジュールの寿命長(保証期間5年,当社製)
主な用途
nマスク,ネットバッグの洗浄nスクラバー洗浄n高圧ジェット洗浄nカット工程の洗浄nスロット洗浄
製品ラインナップ
Cabinet Type (C Series)
C SeriesにはCO2ガスボンベを2つ入れられるキャビネットが付属している。抵抗率センサはキャビネット内に内蔵されており,eFLOWにより水道管を直接接続して使用することができる。
型番一覧
| 処理フロー（L/min） | モデル | 同じ組の |
|---|---|---|
| 1-16 | 1AC-P101 | PF-001L-NA 1个 1module |
| 5-30 | 2AC-P101 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| 10-50 | 3AC-P101 | PF-001L-ND3 2个 2modules |
