時間:2019-12-05 閲覧時間:470次
設備名: |
eFlow Series |
メーカー: |
DIC GROUP |
型号: |
P Series |
年: |
now |
デバイスの状態: |
new |
FLOW Seriesは,DICが独自開発した「中空糸通気膜」を用いて二酸化炭素を補充することにより,超純水抵抗率値を制御する装置である。静電による「ほこりの再付着」や基板パターンの「静電破壊」を防ぐ効果が得られる。
特徴
nは構造が簡単なため故障が少ない
nは独自の配管割当て方式を採用しており,抵抗率値の制御が容易で安定性に優れている
n二酸化炭素ガス供給モジュールの寿命長(保証期間5年,当社製)
主な用途
nマスク,ネットバッグの洗浄nスクラバー洗浄n高圧ジェット洗浄nカット工程の洗浄nスロット洗浄
製品ラインナップ
Panel mount Type (P Series)
P Seriesは,EIA(米国電子工業協会)規格に準拠したホルダーに装着可能である。1AP型は標準機,接続部は全清掃仕様,2AP型はオプションで全清掃仕様に対応する。
处理流量(L/min) | 型号 | 模组 |
---|---|---|
1-16 | 1AP-B02 | PF-001L-NA 1个 1module |
5-30 | 2AP-B01 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
10-50 | 3AP-B01 | PF-001L-ND3 2个 2modules |