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P Series

時間:2019-12-05   閲覧時間:470次

設備名:
eFlow Series
メーカー:
DIC GROUP
型号:
P Series
年:
now
デバイスの状態:
new











FLOW Seriesは,DICが独自開発した「中空糸通気膜」を用いて二酸化炭素を補充することにより,超純水抵抗率値を制御する装置である。静電による「ほこりの再付着」や基板パターンの「静電破壊」を防ぐ効果が得られる。

特徴


nは構造が簡単なため故障が少ない

nは独自の配管割当て方式を採用しており,抵抗率値の制御が容易で安定性に優れている

n二酸化炭素ガス供給モジュールの寿命長(保証期間5年,当社製)

主な用途


nマスク,ネットバッグの洗浄nスクラバー洗浄n高圧ジェット洗浄nカット工程の洗浄nスロット洗浄

製品ラインナップ

Panel mount Type (P Series)


P Seriesは,EIA(米国電子工業協会)規格に準拠したホルダーに装着可能である。1AP型は標準機,接続部は全清掃仕様,2AP型はオプションで全清掃仕様に対応する。



处理流量(L/min) 型号 模组
1-16 1AP-B02 PF-001L-NA 1个 1module
5-30 2AP-B01 PF-001L-ND2 2个 2modules
10-50 3AP-B01 PF-001L-ND3 2个 2modules


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