시간：2019-12-05 조회수：192타임즈
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장치 이름 : |
세라믹 흡입 컵 |
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제조업체 : |
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모형 : |
라운드 / 스퀘어 |
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년 : |
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장치 상태 : |
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다공성 척 (흡착 테이블)은 반도체 제조 단계에서 사용되고 다이 싱 톱 (다이 싱 머신) 또는 검사 장치에 조립되는 구성 요소를 말합니다. 얇은 실리콘 웨이퍼 등을 평평하게 유지하기 위해 테이블 표면의 다공성 구조와 부압을 사용할 수있는 제품입니다. 다이 싱 쏘 (다이 싱 머신)는 약 20μm의 폭으로 실리콘 웨이퍼를 절단하므로 웨이퍼 흡입 표면의 평탄도 및 평행도 요구 사항이 매우 높습니다.
다공성 흡입 컵 사양 :
모양 : 원형, 사각형, 원통형, 특수 모양 (다양한 모양을 만들 수 있음)
바디 재질 : 스테인레스 스틸, 티타늄 합금, 알루미늄, 세라믹
다공성 바디 재질 : 세라믹, 스테인리스 스틸, 카본, PTFE
크기 : 원형 (φ5㎜ ～ φ500㎜)
정사각 (□ 5mm ~ □ 350mm)
본체 표면 처리 : 불소 수지 가공, 내산성 알루미늄, 방청 흑색 필름 LD 처리, 무전 해 크롬 도금
다공성 바디 재질 : 3μm ~ 580μm
